技术特点

创怀微流生物芯片光刻模板

创怀医疗自主研发的微流生物芯片光刻模板,为精密批量制造微流生物芯片提供坚实的技术基础。

微纳米刻蚀技术

激光刻蚀、等离子刻蚀、电子束刻蚀、湿法刻蚀

应用场景

湿法刻蚀

在光刻过的基片上可通过湿刻和干刻等方法将阻挡层上的平面二维图形加工成具有一定深度的立体结构。近年来,使用湿法刻蚀微细加工的报道较多,适用于硅、玻璃和石英等可被化学试剂腐蚀的基片。已广泛地用于电泳和色谱分离。了解更多知识,请点击栏目图片 >

激光刻蚀

激光微加工设备能在多种材料的基板上刻蚀出具有3D图案的微结构,具有较好的灵活性。了解更多知识,请点击栏目图片 >

等离子体刻蚀

等离子体刻蚀是一种以化学反应为主的干法刻蚀工艺,刻蚀气体分子在高频电场作用下,产生等离子体。等离子体中的游离基化学性质十分活泼,利用它和被刻蚀材料之间的化学反应,达到刻蚀微流控芯片的目的。了解更多知识,请点击栏目图片 >

电子束刻蚀

电子束曝光机由电子光学柱、图形发生器、激光控制工件台和计算机控制系统组成。其主要工作原理为:电子从电子枪阴极发射,经阳极加速、聚光镜汇成极束,并经物镜投射到工件表面的光刻胶(包括正胶、负胶),使光刻胶发生交联或降解反应,经显影溶液处理后形成感光胶图形。了解更多知识,请点击栏目图片 >

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